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アルバック成膜について

About Us

こんなところで使われている当社の製品

半導体用マスクブランクス

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FPD用マスクブランクス

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数字で見るアルバック成膜

働き方
  • nature_people

    有給取得率
    80%

  • event_available

    年間休日
    125日

歴史
  • history_edu

    設立
    1979年

  • groups

    従業員数(グループ)
    500名

グローバル展開
  • badge

    従業員比率(グループ)
    海外23%:国内77%

  • bring_your_own_ip

    地域別売上比率
    海外73%:国内27%

アルバック成膜グループの技術力を埼玉県サイズに置き換えてみると
  • horizontal_split

    研磨の平坦度
    30mm

    埼玉県の高低差がわずか30mmに収まる研磨精度
    ちなみに埼玉県の高低差は2044m(最大標高:2041m-最小標高:-3m)

  • golf_course

    表面欠陥
    40mm

    埼玉県の面積:3,798kmで考えると、ゴルフボール(42.67mm)よりも小さなキズや汚れがゼロ

  • backlight_low

    表面粗さ
    0.06mm

    埼玉県東西の長さ107kmのあいだの凹凸が
    たったの0.06mm

環境貢献
  • solar_power

    太陽光発電量
    1MW(メガワット)

    メガソーラーと言われる大規模太陽光発電設備を有している 1MW=1,000kW
    一般家庭約300世帯が1年間に消費する電力量に相当

Site Locations

事業所・グループ会社

マスクブランクスとは?

写真に例えると……

写真技術を使って同じパターンをシリコンウェハー上に転写するのが露光技術(フォトリソグラフィ)
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印画紙:シリコンウェハー
写真用フィルム:フォトマスク
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露光前の写真用フィルムがマスクブランクス(Blank=白紙:半導体回路パターン情報が記載されていないマスク)

マスクメーカーのプロセス

ブランクス
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ガラス基板+金属層+レジスト(有機感光)層

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パターン描画
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レジストに電子線またはレーザー光 照射

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レジスト現像
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電子線/レーザー光が照射された箇所と照射されていない箇所でレジストが溶解または固化することでパターンを形成

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エッチング
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レジストが取り除かれたところの金属膜をエッチングし、金属膜にパターンを移す

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レジスト剥離
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残っていたレジストをすべて剥離

Photomask の作り方

エンドユーザーのプロセス

マスクメーカーで作成されたマスクを使ってシリコンウェハーにパターンを転写

Product

アルバック成膜グループの技術力

表面処理の最先端を突き進む 表面処理技術

01 研磨技術

光学部品を半導体分野で使用できる表面状態に仕上げる研磨!

02 研磨面の平坦度

例えるなら、埼玉県の高低差がわずか30mmに収まる研磨精度!

03 表面欠陥

埼玉県の面積で考えると、ゴルフボールよりも小さなキズや汚れがゼロ!

04 表面粗さ

埼玉県東西の長さ107kmで換算すると、この区間の凹凸がたったの0.06mmしかない!

05 加工事例

金属表面の梨地処理やクリーニング、工芸品、コップ、装飾加工etc

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