アルバック成膜株式会社の設立から現在までの概況をご案内いたします。
| 1970 | ハードマスクブランクスの試作、開発に着手 |
|---|---|
| 1971 | シースルーマスク（ST-MASK）の開発に着手 |
| 1972 | 低反射クロムマスク（MF-MASK）の販売を開始 |
| 1973 | MF-MASKの対米輸出を開始 |
| 1975 | 透明導電膜の製造および販売を開始 （以上（株）アルバック 旧称 日本真空技術株式会社において） |
| 1979 | アルバック成膜株式会社として分離独立 資本金１億円、本社・工場（A棟完成）を秩父市の現在地に移す |
| 1981 | B棟完成 |
| 1982 | UF-MASK、PF-MASKの販売を開始 |
| 1984 | C棟完成 |
| 1986 | 資本金9千万円増資（新資本金1億9千万円） 九州真空冶金（株）、稲畑産業（株）と合併にて米国にIHT Corp.を設立 マスク用ドライエッチング装置を開発、販売開始 |
| 1987 | 資本金8千2百万円増資（新資本金2億7千2百万円） |
| 1988 | ITO膜のパターニング開始 FPDカラーフィルター用クロム膜（BM）の製造を開始 |
| 1992 | 露光機を設置、BMのパターニング開始 |
| 1994 | D棟完成 |
| 1995 | ハーフトーン型位相シフトマスクブランクスの製造を開始 |
| 1997 | ISO9002認証取得（JICQA NO.0205） E棟完成 |
| 1999 | 次世代マスク用NLDEドライエッチング装置の製造、販売を開始 |
| 2000 | アメリカ現地法人「IHT Corp.」が「ULCOAT U.S.A.,Inc.」に社名変更 |
| 2001 | ISO14001認証取得（JICQA NO.E217） 台湾現地法人 台灣成膜光電（股）有限公司 設立 |
| 2002 | ISO9001認証取得（JICQA NO.0205）※ISO9002移行認証取得 台灣成膜光電（股）有限公司 本社・工場完成 GNF-FED(フィールドエミッションディスプレイ)の研究開発に着手 |
| 2003 | MEMSの研究開発に着手 |
| 2005 | D棟増築（LM生産設備の拡充） |
| 2006 | 品質・環境マネジメントシステムの統合(ISO9001・ISO14001) ULCOAT U.S.A.,Inc.業務をINABATA AMERICA CORP.に移管の為、解散 ガラスMEMS商品の販売を開始 |
| 2007 | FPD部をFD(Functional Device)部に名称変更し、ガラスMEMS商品を中心に事業スタート |
| 2009 | Ｇ棟完成 |
| 2010 | LCD用ハーフトーン（F型・Ｔ型）マスクブランクスの販売を開始 |
| 2013 | 資本金１億７千２百万円減資（新資本金1億円） |
| 2013 | LCD用大型位相シフトマスクブランクスの販売を開始 |
| 2015 | 工場屋上に太陽光発電設備（最大出力285.6kw）を設置し発電を開始 |
| 2018 | 中国現地法人 愛発科成膜技術（合肥）有限公司設立 |
